红外与激光工程, 2007, 36 (3): 329, 网络出版: 2007-09-18
非晶硅室温微测辐射热计的研制
A-Si:H room temperature microbolometer
摘要
将聚酰亚胺作为绝热材料,对传统室温微测辐射热计结构进行了改进,成功制备了非晶硅室温微测辐射热计并进行了测试.以聚合物材料作为绝热材料,避免了表面牺牲层工艺和体加工技术,降低了成本、提高了成品率.在传统探测器结构基础上,在底部制备一层金属用作红外反射层.利用吸收层可以对红外辐射进行二次吸收.金属层和有源层间的隔离层对红外也有很好的吸收效果,由隔离层、有源层和钝化层构成三明治结构,可以显著改善对红外辐射的吸收.对器件的制备工艺进行了说明并对器件特性进行了测试,结果表明,在773 K黑体源8～14 μm红外辐射下,探测器的响应度最大为26.4 kV/W,表明器件具有较高的性能.
Abstract
刘兴明, 韩琳, 刘理天. 非晶硅室温微测辐射热计的研制[J]. 红外与激光工程, 2007, 36(3): 329. 刘兴明, 韩琳, 刘理天. A-Si:H room temperature microbolometer[J]. Infrared and Laser Engineering, 2007, 36(3): 329.
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