光学与光电技术, 2007, 5 (4): 1, 网络出版: 2007-09-18
O2中α型射频放电的理论研究
Theoretical Research on α-RF Discharge of Oxygen
摘要
根据射频放电中电流连续性方程、稳态时电子数密度的连续性方程以及电子的能量平衡方程,建立了气体放电氧碘激光器中α型射频放电等离子体的理论模型,通过数值求解得到了射频放电等离子体中电场、电子数密度的空间分布,分析了放电参数对放电特性的影响.结果表明采用频率高的射频放电会使放电空间电场降低,电子数密度增加,从而有利于单重氧的生成,为提高气体放电中单重氧的产率提供了理论依据.
Abstract
何凡, 王新兵, 肖丹, 张学玲. O2中α型射频放电的理论研究[J]. 光学与光电技术, 2007, 5(4): 1. 何凡, 王新兵, 肖丹, 张学玲. Theoretical Research on α-RF Discharge of Oxygen[J]. OPTICS & OPTOELECTRONIC TECHNOLOGY, 2007, 5(4): 1.
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