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应用于纳米级聚焦离子束系统的静电透镜设计

Design of electrostatic lenses in nanometer scale focusing ion beam system

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摘要

在不同束流和能量下对离子光柱体进行了优化设计.给出了用阻尼最小二乘法设计的单个透镜和透镜系统,并研究了像平面处的离子束性能.采用先分解再组合的方法确定单个透镜参数,并以大束流、无限大放大倍数下像差系数与焦距的比为优化目标.选取工作模式时综合考虑了系统的光学性能和可实现性,大束流下采用平行模式,小束流下采用交叉模式,设计的透镜系统在大、小束流下分别选轴上像差和放大倍数为优化目标.计算表明,2 nA束流下像差为16.33 nm,放大倍数为-0.539 095 5,束斑直径为31.52 nm;2.5 pA束流下像差为2.15 nm,放大倍数为0.084 359 9,束斑直径为4.73 nm.此离子光柱体能够获得纳米量级的离子束,并且只需调整第二透镜第二、第三电极之间的距离以及第二电极电位(对源)就能改变样品处的束能,增加了光柱体的应用范围,实现了一套系统内同时具有刻蚀、沉积、注入和离子成像等功能.

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补充资料

中图分类号:TN16;TH703

所属栏目:现代应用光学

基金项目:科技部科学仪器设备升级改造专项项目(No.2005JG100050)

收稿日期:2006-07-26

修改稿日期:2006-12-18

网络出版日期:--

作者单位    点击查看

李文萍:北京航天航空大学,北京,100083
顾文琪:中国科学院电工研究所,北京,100080

备注:李文萍(1976-),女,山东人,北京航天航空大学理学院物理系讲师,主要从事电子显微镜和聚焦离子束系统的光学设计.E-mail:liwp@buaa.edu.cn

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引用该论文

李文萍,顾文琪. Design of electrostatic lenses in nanometer scale focusing ion beam system[J]. Optics and Precision Engineering, 2007, 15(6): 829-834

李文萍,顾文琪. 应用于纳米级聚焦离子束系统的静电透镜设计[J]. 光学 精密工程, 2007, 15(6): 829-834

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