光学 精密工程, 2007, 15 (6): 884, 网络出版: 2008-02-18
应用于压电叠堆泵的微位移放大机构
Micro-displacement magnifying mechanism used in piezo-stack pump
摘要
提出了一种应用于压电叠堆泵的微位移放大机构,该机构以压电叠堆(积层式压电微位移器)为驱动元件,通过基于三角形放大原理的柔性铰链放大机构,放大压电叠堆的输出位移.同时,设计、研制了实验装置,并在试制样机上对其静、动态特性进行了实验.实验测试结果表明:该机构对压电叠堆输出位移的放大倍数达到5倍,并且该机构具有线性良好、高分辨率、高频响应等特点.由有限元分析得到的固有频率达到了1.8 kHz,实际测量的固有频率为1.5 kHz.
Abstract
杨志刚, 刘登云, 吴丽萍, 陈洪涛, 刘鹏. 应用于压电叠堆泵的微位移放大机构[J]. 光学 精密工程, 2007, 15(6): 884. 杨志刚, 刘登云, 吴丽萍, 陈洪涛, 刘鹏. Micro-displacement magnifying mechanism used in piezo-stack pump[J]. Optics and Precision Engineering, 2007, 15(6): 884.
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