光学 精密工程, 2007, 15 (7): 1090, 网络出版: 2008-02-18   

变温蠕变实验的COP微流控芯片热压制备

Variable temperature quasi-creep experiment for fabrication of microfluidic chip using Cyclo-olefin Polymer(COP)
作者单位
1 大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室,辽宁,大连,116023
2 大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室,辽宁,大连,116023
摘要
采用热压方法制备了COP微流控芯片.由于温度对微结构热压成形的质量影响最大,基于材料的粘弹性特性,通过变温准蠕变实验获得热压参考温度Tr,即从材料玻璃点温度以下开始,以1.5℃/min的温升速率,在热压工作压力下热压聚合物基片,通过温度一位移实时采集系统获得材料的温度-形变曲线,曲线的拐点对应的温度即是热压参考温度.实验证明了在该温度下热压成形具有高复制精度和低整体变形,微结构宽度和深度方向的复制精度分别达到97.6%和94.3%.电泳实验和DNA分析实验得出COP芯片具有良好的生物兼容性,适用于生化分析.
Abstract

罗怡, 王晓东, 杨帆, 刘冲. 变温蠕变实验的COP微流控芯片热压制备[J]. 光学 精密工程, 2007, 15(7): 1090. 罗怡, 王晓东, 杨帆, 刘冲. Variable temperature quasi-creep experiment for fabrication of microfluidic chip using Cyclo-olefin Polymer(COP)[J]. Optics and Precision Engineering, 2007, 15(7): 1090.

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