光电工程, 2002, 29 (3): 24, 网络出版: 2007-11-14  

一种新的散射电子空间输运坐标转换方法

A New Coordinate Conversion Method for Spatial Transmission of Scattering Electrons
作者单位
1 中国科学院微电子中心微光刻实验室,北京,100029
2 山东大学电气工程学院,山东,济南,250061
3 中国科学院微电子中心电工研究所,北京,100080
摘要
提出一种新的随动坐标系矢量转换方法,给出用于转换散射电子空间输运坐标的矩阵方程.该方程具有递推的形式,计算方便,并且只涉及乘法运算,不会引起计算上的困难,将其用于PMMA(Si中电子散射过程的Monte Carlo模拟,结果表明可以有效节约机时,提高模拟效率,明显优于习惯上使用的静态坐标系方程.
Abstract

任黎明, 陈宝钦, 谭震宇, 顾文琪. 一种新的散射电子空间输运坐标转换方法[J]. 光电工程, 2002, 29(3): 24. 任黎明, 陈宝钦, 谭震宇, 顾文琪. A New Coordinate Conversion Method for Spatial Transmission of Scattering Electrons[J]. Opto-Electronic Engineering, 2002, 29(3): 24.

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