光电工程, 2002, 29 (4): 49, 网络出版: 2007-11-14
表面弹性波马达的工作机理和优化设计研究
Study on operating mechanism and optimization design for surface acoustic wave motor
摘要
探讨了表面弹性波马达的工作机理和优化设计.采用具有能量循环功能的表面弹性波换能器结构,提高了表面弹性波马达效率,将马达的驱动电压阈值从100V降到了10V以下.在频率10MHz,峰峰值为10V的正弦电压激励下,获得振动幅度为20nm的表面弹性波,马达的无负载速度达到0.34m/s,最大推动力输出达到0.06N.
Abstract
崔喜泉, 吴兰, 章海军. 表面弹性波马达的工作机理和优化设计研究[J]. 光电工程, 2002, 29(4): 49. 崔喜泉, 吴兰, 章海军. Study on operating mechanism and optimization design for surface acoustic wave motor[J]. Opto-Electronic Engineering, 2002, 29(4): 49.
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