光电工程, 2002, 29 (5): 25, 网络出版: 2007-11-14
有机改性硅酸盐材料薄膜微光学元件制作研究
Research on Fabrication of Micro-Optical Elements with ORMOSILS Thin Film
摘要
利用正交实验法研究相关因素对ORMOSILS(有机改性硅酸盐材料)薄膜成膜性的影响,并通过调整陈化时间以优化复制工艺.与光敏胶微光学元件相比,复制出的微光学元件光学性能、力学性能有了较大的改善.
Abstract
吴海鹰, 方敬忠, 杜春雷. 有机改性硅酸盐材料薄膜微光学元件制作研究[J]. 光电工程, 2002, 29(5): 25. 吴海鹰, 方敬忠, 杜春雷. Research on Fabrication of Micro-Optical Elements with ORMOSILS Thin Film[J]. Opto-Electronic Engineering, 2002, 29(5): 25.
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