光电工程, 2003, 30 (4): 34, 网络出版: 2007-11-14
利用空域采样相移干涉计量法测量微小位移
Measurement of micro-displacement by means of phase shift interferometry with spatial domain sampling
摘要
提出了一种利用空域采样实现相移干涉计量的新方法和实验演示装置.演示装置使用倾斜镜或阶梯镜作为相移器件,线阵CCD做为光学传感器.实验表明:此方法非常适用于测量快速变化的目标或动态过程,其测量精度与传统时域采样相移技术相当但具有更好的稳定性和更高的测量速度,而测量范围是离焦量的2倍.
Abstract
赵霞. 利用空域采样相移干涉计量法测量微小位移[J]. 光电工程, 2003, 30(4): 34. 赵霞. Measurement of micro-displacement by means of phase shift interferometry with spatial domain sampling[J]. Opto-Electronic Engineering, 2003, 30(4): 34.
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