光电工程, 2003, 30 (6): 32, 网络出版: 2007-11-14
半导体基片表面微小高温区域的红外测温系统
An infrared temperature-measuring system for a small high-temperature region on semiconductor substrate
摘要
利用红外辐射测温原理,设计成半导体基片上激光焦斑温度不接触测量系统.该系统由透镜成像系统、探测器、精密电动平台及相关电路和软件组成,其测温范围大,温度分辨力可达0.2K,还可得到温度-时间关系曲线;可自动测量热斑的温度分布及寻找热斑的最高温度区域;测量区域的最小直径为18μm.
Abstract
吴云峰, 叶玉堂, 焦世龙, 杨先明, 秦宇伟, 范超. 半导体基片表面微小高温区域的红外测温系统[J]. 光电工程, 2003, 30(6): 32. 吴云峰, 叶玉堂, 焦世龙, 杨先明, 秦宇伟, 范超. An infrared temperature-measuring system for a small high-temperature region on semiconductor substrate[J]. Opto-Electronic Engineering, 2003, 30(6): 32.
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