光电工程, 2004, 31 (2): 34, 网络出版: 2007-11-14
新型室温微机械红外探测器原理与设计
Principle and Design of an IR Detector for a Novel Room Temperature MEMS
摘要
利用红外吸收气体直接吸收红外辐射的原理,设计出一种新型室温红外探测器.当密闭腔内气体吸收红外辐射后,腔内压强增大使弹性薄膜形变,由以弹性薄膜为可动极板的微电容结构的电容变化量,可测得红外辐射的大小.采用微机械技术制作的探测器,对8-14μm红外辐射有灵敏、快速的响应,灵敏度≥2×10-3 pF/mW.
Abstract
李兰, 沈光地, 邹德恕, 刘铮, 邓军, 杨道虹, 吴畯苗. 新型室温微机械红外探测器原理与设计[J]. 光电工程, 2004, 31(2): 34. 李兰, 沈光地, 邹德恕, 刘铮, 邓军, 杨道虹, 吴畯苗. Principle and Design of an IR Detector for a Novel Room Temperature MEMS[J]. Opto-Electronic Engineering, 2004, 31(2): 34.
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