光电工程, 2004, 31 (5): 24, 网络出版: 2007-11-14
改善MEMS闪耀光栅衍射效率的研究
Study on improving diffraction efficiency of MEMS blazed gratings
摘要
研究了在硅材料上利用MEMS (Micro-Electro-Mechanical System)的各向异性腐蚀技术制备闪耀光栅.采用氧化削尖工艺去除光栅制备过程中掩膜在闪耀面上留下的平台,得到一个连续的闪耀面;同时对闪耀面进行表面抛光,改善闪耀面的粗糙度,减小对入射光的散射.理论分析和实验测试证明,该工艺方法能够将MEMS闪耀光栅的衍射效率提高10%左右.
Abstract
李四华, 吴亚明, 韩晓峰. 改善MEMS闪耀光栅衍射效率的研究[J]. 光电工程, 2004, 31(5): 24. 李四华, 吴亚明, 韩晓峰. Study on improving diffraction efficiency of MEMS blazed gratings[J]. Opto-Electronic Engineering, 2004, 31(5): 24.
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