光电工程, 2004, 31 (5): 46, 网络出版: 2007-11-14
衍射频谱法测光栅膜层厚度
Measurement of grating thickness with power spectrum
摘要
根据傅立叶光学理论从光栅的衍射频谱中可以反推光栅本身的多种信息,包括其形貌特征.利用矩形相位光栅的傅立叶变换,推导出零级和一级衍射光强和矩形相位光栅膜层厚度之间的函数关系,据此可在测得零级和一级次光强后,推算出光栅膜层厚度.以台阶仪作为标准,该方法的测量误差在4%以内.
Abstract
李何立, 文学金, 曹向群, 林斌. 衍射频谱法测光栅膜层厚度[J]. 光电工程, 2004, 31(5): 46. 李何立, 文学金, 曹向群, 林斌. Measurement of grating thickness with power spectrum[J]. Opto-Electronic Engineering, 2004, 31(5): 46.
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