光电工程, 2004, 31 (9): 53, 网络出版: 2007-11-14
移相干涉仪环境微扰的外差检测及信号处理
Heterodyne vibration measurement and signal processing for environmental micro-disturbances on phase-shifting interferometer
摘要
对环境微振动干扰进行补偿可减小移相干涉测量的误差,其中振动量的检测是实现振动补偿的前提.以声光调制器作为光学移频器,在移相式平面干涉仪中组合成外差干涉测振系统,可以实现光程差微小变化(范围为0到1/2波长)的实时检测.在外差信号处理中采用单片RF/IF相位测量芯片直接对两路40MHz模拟信号进行比相,简化了通常使用的数字测相方法,其精确测相的典型非线性值小于1度.用该系统实际测量了周期性振动和地面冲击振动对干涉仪的影响,获得了干涉仪所受微振动的幅度和相位.
Abstract
吴栋, 朱日宏, 陈磊, 姬会东. 移相干涉仪环境微扰的外差检测及信号处理[J]. 光电工程, 2004, 31(9): 53. 吴栋, 朱日宏, 陈磊, 姬会东. Heterodyne vibration measurement and signal processing for environmental micro-disturbances on phase-shifting interferometer[J]. Opto-Electronic Engineering, 2004, 31(9): 53.
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