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平行度测试仪原理及其测量精度分析

Theory and precision analysis of testing apparatus of parallel depth

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摘要

平行度测试仪是检测大型光电经纬仪多光轴系统平行度的设备,要求平行度测试仪的精度要达到0.5".方法是利用一块反射镜和两块五棱镜将一束准直光束分光成两束平行光束,大型经纬仪的两个光学系统分别接收这两束平行光,两束平行光所成像的脱靶量差值即为两光学系统的光轴平行度.利用两个精度为0.1"的自准直平行光管和一块平面反射镜检测平行度测试仪精度.经检测标定后平行度测试仪的精度可达到0.5",能够很好的满足检测平行度为2"的光学系统的检测.

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补充资料

中图分类号:TB133

所属栏目:光电测量与系统

收稿日期:2006-04-20

修改稿日期:2007-03-07

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贺和好:中国科学院长春光学机密机械与物理研究所,质检中心,吉林,长春,130033中国科学院研究生院,北京,100039
叶露:中国科学院长春光学机密机械与物理研究所,质检中心,吉林,长春,130033
周兴义:中国科学院长春光学机密机械与物理研究所,质检中心,吉林,长春,130033
沈湘衡:中国科学院长春光学机密机械与物理研究所,质检中心,吉林,长春,130033

备注:贺和好(1981-),男(汉族),江苏沛县人,研究生,主要研究工作是光学精密机械检测及检测设备研制.E-mail:heweilg@126.com

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引用该论文

贺和好,叶露,周兴义,沈湘衡. Theory and precision analysis of testing apparatus of parallel depth[J]. Opto-Electronic Engineering, 2007, 34(5): 52-56

贺和好,叶露,周兴义,沈湘衡. 平行度测试仪原理及其测量精度分析[J]. 光电工程, 2007, 34(5): 52-56

被引情况

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