光子学报, 2002, 31 (3): 354, 网络出版: 2007-09-18
弱导波导多模干涉耦合器结构参量优化设计
OPTIMAL DESIGN OF WEAK-WAVEGUIDE MULTIMODE INFERENCE COUPLER STRUCTURE
摘要
本文分析了以硅基底上二氧化硅波导为代表的弱导波导多模干涉(MMI)耦合器件输入(出)波导位置及宽度和MMI长度等结构参量对器件性能的影响.提出了参量空间法,在给定工艺材料参量和多模波导宽度情况下,通过匹配各结构参量,制出均匀性好、附加损耗低的弱导波导多模干涉耦合器件.
Abstract
王谦, 何赛灵, 黄耐容, 殷源. 弱导波导多模干涉耦合器结构参量优化设计[J]. 光子学报, 2002, 31(3): 354. 王谦, 何赛灵, 黄耐容, 殷源. OPTIMAL DESIGN OF WEAK-WAVEGUIDE MULTIMODE INFERENCE COUPLER STRUCTURE[J]. ACTA PHOTONICA SINICA, 2002, 31(3): 354.