光子学报, 2002, 31 (9): 1077, 网络出版: 2007-09-18
透光导电ITO膜的制备及其光电特性的研究
OPTICAL AND ELECTRICAL PROPERTIES OF TRANSPARENT CONDUCTIVE ITO FILMS PREPARED BY SOL-GEL PROCESS
摘要
采用溶胶-凝胶方法制备ITO膜,并从制备工艺上研究了各种因素对ITO膜光电特性的影响.最后制出的ITO膜厚度约为50nm,在可见光区平均透射比达97%,最高达99.55%,电阻率在2.0Ω·cm左右,最低达到0.31Ω·cm.
Abstract
周引穗, 王俊, 杨晓东, 董庆彦, 高爱华, 胡晓云, 陆治国. 透光导电ITO膜的制备及其光电特性的研究[J]. 光子学报, 2002, 31(9): 1077. 周引穗, 王俊, 杨晓东, 董庆彦, 高爱华, 胡晓云, 陆治国. OPTICAL AND ELECTRICAL PROPERTIES OF TRANSPARENT CONDUCTIVE ITO FILMS PREPARED BY SOL-GEL PROCESS[J]. ACTA PHOTONICA SINICA, 2002, 31(9): 1077.
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