光学 精密工程, 2007, 15 (11): 1712, 网络出版: 2008-02-18
基于像差修正的同轴度测量方法
Coaxiality measurement method based on revising aberration
摘要
为了实现在同轴度测量中平行偏差(平偏)和倾斜偏差(角偏)两个量的同时测量,建立了基于激光准直性的光斑接收系统.该系统由接收物镜、分光棱镜和CCD构成.以物镜光轴、准直光束几何中心线和两个CCD接收面构成的三角关系进行两个偏差量的计算;并通过对系统像差的分析,提出了显著降低物镜像差对测量结果影响的算法.理论和实验数据表明,对于平偏测量范围为±10 mm、角偏测量范围为±2°、接收物镜焦距为50 mm、CCD尺寸为1.6 cm的系统,平偏测量精度可达0.02 mm,角偏测量精度可达9.5″.因此,该系统可以满足较大范围内的旋转机械同轴度测量的需要.
Abstract
吴国俊, 闫亚东, 仓玉萍, 吴玲玲, 陈良益. 基于像差修正的同轴度测量方法[J]. 光学 精密工程, 2007, 15(11): 1712. 吴国俊, 闫亚东, 仓玉萍, 吴玲玲, 陈良益. Coaxiality measurement method based on revising aberration[J]. Optics and Precision Engineering, 2007, 15(11): 1712.
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