光子学报, 2007, 36 (10): 1903, 网络出版: 2008-02-18
软X射线反射法测量金属W的光学常量
Optical Constants of Tungsten from Soft-X-ray Reflectance Measurements
摘要
在同步辐射装置3W1B光束线上测量了软X射线能区50~200 eV金属W薄膜的反射率,并采用最小二乘拟合得到其光学常量.实验采用三种样品:Si衬底单层W超薄膜,Si衬底W/C双层膜,SiO2衬底W薄膜.分别获得金属W光学常量,三种样品的结果分别代表W薄膜光学常量,WC薄膜结合中W薄膜的光学常量及体材料W的光学常量.结果表明,前两者结果与以往发表数据一致性较好,第三种样品的结果则更接近已发表的体材料的结果.通过实验结果和已发表数据的比较,发现随着薄膜厚度的降低,光学常量实部(色散因子)变化不明显,而虚部(吸收因子)随之升高.实验不确定度来源于光谱纯净度和光源稳定性.
Abstract
陈凯, 崔明启, 郑雷, 赵屹东. 软X射线反射法测量金属W的光学常量[J]. 光子学报, 2007, 36(10): 1903. 陈凯, 崔明启, 郑雷, 赵屹东. Optical Constants of Tungsten from Soft-X-ray Reflectance Measurements[J]. ACTA PHOTONICA SINICA, 2007, 36(10): 1903.