强激光与粒子束, 2007, 19 (9): 1479, 网络出版: 2008-02-18
钛膜的电解抛光技术研究
Investigation on electropolishing of Ti film
摘要
分析了硫酸、硝酸、氢氟酸;硫酸、乙酸、氢氟酸;乙醇、正丁醇、氯化锌、氯化铝;高氯酸、乙酸;硫酸、甲醇这5种不同电解液组成对钛薄膜表面粗糙度、表面形貌的影响,得出硫酸、甲醇混合溶液是一种较理想的电解液体系.设置合适的抛光电压、温度、时间、泵速等工艺参数,制备出了表面平整光滑,平均粗糙度小于30 nm的钛膜.分析了硫酸、甲醇电解液阳极电压与试样表面减薄速率的关系:试样的减薄速率开始随电压的升高而增大;当电压达到28～34 V时,减薄速率随电压变化很慢,当电压继续增大时,减薄速率又会迅速增大,金属膜继续溶解.
Abstract
张素银, 杜凯, 邢丕峰, 李朝阳, 郑凤成, 谢军. 钛膜的电解抛光技术研究[J]. 强激光与粒子束, 2007, 19(9): 1479. 张素银, 杜凯, 邢丕峰, 李朝阳, 郑凤成, 谢军. Investigation on electropolishing of Ti film[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2007, 19(9): 1479.
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