强激光与粒子束, 2007, 19 (10): 1739, 网络出版: 2008-02-18   

CO2激光和等离子体清洗提高石英基片损伤阈值

Effects of CO2 laser andvacuum plasma cleanings on silica-oil-and-grease polluted quartz substrates
作者单位
1 电子科技大学,物理电子学院,成都,610054
2 中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900
摘要
采用连续CO2激光和真空等离子体相结合的方法对石英基片进行清洗.通过光学显微图、水接触角、透过率和损伤阈值测量分别表征了CO2激光和等离子体对真空硅脂蒸发物污染过的石英基片的清洗效果.研究表明:对于真空硅脂蒸发物污染后的石英基片,可以先采用低能量的CO2激光进行大面积清洗,再用真空等离子体进行精细清洗.光学显微图像表明:清洗后的基片表面的油珠被清除干净;水滴接触角由63°下降到4°;在400nm附近,基片透过率由92.3%上升到93.3%;损伤阈值由3.77 J/cm2上升到5.09J/cm2.
Abstract

李绪平, 祖小涛, 袁晓东, 蒋晓东, 吕海兵, 郑万国, 唐灿, 李珂, 向霞, 郭袁俊, 徐世珍, 袁兆林. CO2激光和等离子体清洗提高石英基片损伤阈值[J]. 强激光与粒子束, 2007, 19(10): 1739. 李绪平, 祖小涛, 袁晓东, 蒋晓东, 吕海兵, 郑万国, 唐灿, 李珂, 向霞, 郭袁俊, 徐世珍, 袁兆林. Effects of CO2 laser andvacuum plasma cleanings on silica-oil-and-grease polluted quartz substrates[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2007, 19(10): 1739.

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