光学 精密工程, 2008, 16 (2): 184, 网络出版: 2008-07-08
干涉法实时测量浅度非球面技术
Testing of weak aspheric surface by real-time interferometry
摘要
提出了一种实时干涉检测非球面的新方法,该方法无需补偿器、计算全息图等辅助元件就能实现对浅度非球面的测量.对非球面度较小的非球面,直接利用标准球面镜作为参考表面,通过数字干涉仪可以测得全孔径位相分布,将所得的数据剔除参考球面波相对理论非球面的偏差,并运用最小二乘拟合求得机构定位误差,消去此误差,即可获得真实的面形信息.利用该方法对一口径为350 mm的浅度双曲面进行了测量,通过数据分析和处理得到面形误差的PV值和RMS值分别为0.387 λ和 0.048 λ(λ=632.8 nm),将该结果与零位补偿的检测结果相比较,两面形分布是一致的,其PV值和RMS值的偏差分别为0.033 λ和0.006 λ,说明该技术用于检测浅度非球面是切实可行的.
Abstract
王孝坤, 王丽辉, 张学军. 干涉法实时测量浅度非球面技术[J]. 光学 精密工程, 2008, 16(2): 184. 王孝坤, 王丽辉, 张学军. Testing of weak aspheric surface by real-time interferometry[J]. Optics and Precision Engineering, 2008, 16(2): 184.
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