光子学报, 2008, 37 (1): 11, 网络出版: 2008-07-08
楔条形阳极收集器的参量设计与工艺优化
Parameter Design and Technics Optimization of Wedge and Strip Anodes Collector
摘要
分析了楔条形阳极收集器各参量对探测器主要性能的影响,研究了圆形收集器的设计方法,制定并优化了相应的制作工艺.以此为基础,设计和制作了两块有效探测面积Φ 48 mm、周期1.2 mm、绝缘沟道宽度30 μm、电极厚度分别为1 μm和2 μm的圆形收集器.通过对比和分析这两块收集器的电阻和电极电容值以及相应的成像实验,验证了上述研究方法的正确性和"先光刻腐蚀后电镀增厚"工艺方案的可行性.
Abstract
缪震华, 赵宝升, 刘永安, 朱香平, 张兴华. 楔条形阳极收集器的参量设计与工艺优化[J]. 光子学报, 2008, 37(1): 11. 缪震华, 赵宝升, 刘永安, 朱香平, 张兴华. Parameter Design and Technics Optimization of Wedge and Strip Anodes Collector[J]. ACTA PHOTONICA SINICA, 2008, 37(1): 11.
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