光子学报, 2007, 36 (11): 2053, 网络出版: 2008-07-08   

遗传算法在薄膜特性参量测量中的应用

The Application of Genetic Algorithm in Thin Film Characters Measurement
作者单位
浙江大学,光电系现代光学仪器国家重点实验室,杭州,310027
摘要
利用遗传算法,将光学常量作为参量建立全局优化模型.通过遗传变异进行迭代计算从而优化解.它不但避免了接触式测量对样品的破坏,而且相对于其它算法简单清晰,在保证准确度的同时,具有良好的稳定性.实验结果与理想模型误差在1 nm以内,实际样品与台阶仪的测量结果误差控制在20 nm以内.
Abstract

宫兴致, 陈燕平, 刘玉玲, 余飞鸿. 遗传算法在薄膜特性参量测量中的应用[J]. 光子学报, 2007, 36(11): 2053. 宫兴致, 陈燕平, 刘玉玲, 余飞鸿. The Application of Genetic Algorithm in Thin Film Characters Measurement[J]. ACTA PHOTONICA SINICA, 2007, 36(11): 2053.

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