光子学报, 2007, 36 (11): 2098, 网络出版: 2008-07-08
一种同时测量平行偏差、倾斜偏差的方法
Coaxiality Method for Position and Angle Deviation Measurement
摘要
提出了一种仅由接收物镜和CCD构成的接收器,通过物镜位置的调整,可以同时完成平行偏差(平偏)和倾斜偏差(角偏)这两个参量的测量.通过对系统像差的分析,提出了可显著降低物镜像差对测量结果影响的算法.理论和实验数据表明,对于平偏测量范围为±10 mm、角偏测量范围为±2°、接收物镜焦距为50 mm、CCD尺寸为1/1.6 inch的系统,平偏测量准确度可达O.02 mm,角偏测量准确度可达9.5".
Abstract
吴国俊, 吴玲玲, 闫亚东, 仓玉萍, 陈良益. 一种同时测量平行偏差、倾斜偏差的方法[J]. 光子学报, 2007, 36(11): 2098. 吴国俊, 吴玲玲, 闫亚东, 仓玉萍, 陈良益. Coaxiality Method for Position and Angle Deviation Measurement[J]. ACTA PHOTONICA SINICA, 2007, 36(11): 2098.
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