光学仪器, 2007, 29 (2): 22, 网络出版: 2008-08-12
光栅在驱动控制系统运动位移测量中的应用
The applying of grating in measuring movement displacement of driving control system
摘要
利用计量光栅的栅距作为基准刻线,对二维精密工作台的运动位移进行测量,提出了一种新的位移测量方法.通过CCD(charge coupled device)获取光栅刻线图像,对图像进行分析处理,计算出栅距与图像像素之间的映射系数,再通过对工作台移动前后光栅图像的对比,采用基于李萨如图的相位差比率算法获取它们的像素位置差,从而计算出工作台的实际运行位移量.
Abstract
李海华, 杨练根, 王选择. 光栅在驱动控制系统运动位移测量中的应用[J]. 光学仪器, 2007, 29(2): 22. 李海华, 杨练根, 王选择. The applying of grating in measuring movement displacement of driving control system[J]. Optical Instruments, 2007, 29(2): 22.