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液态源MOCVD控制系统研究

Research on control system of the liquid source MOCVD

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摘要

金属有机物化学气相淀积(MOCVD)技术是当前研制和生产先进化合物半导体材料的最主要技术.结合液态源MOCVD设备控制系统的组成与特点,给出了液态源MOCVD控制系统,该系统采用可编程逻辑控制器和触摸屏实现了整个系统的控制和管理,取得了满意的研究结果.

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中图分类号:TN304.054

所属栏目:仪器及装置

收稿日期:2006-08-14

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李岗:西安工业大学光电工程学院,陕西,西安,710032
高爱华:西安工业大学光电工程学院,陕西,西安,710032

备注:李岗(1978-),男,山西孝义人,硕士研究生,主要从事微制造技术方面的研究.

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引用该论文

李岗,高爱华. Research on control system of the liquid source MOCVD[J]. Optical Instruments, 2007, 29(3): 76-79

李岗,高爱华. 液态源MOCVD控制系统研究[J]. 光学仪器, 2007, 29(3): 76-79

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