光学仪器, 2008, 30 (1): 20, 网络出版: 2008-08-12
基于光谱能量分析的介质厚度测量方法
The measurement method for medium thickness based on spectral energy analysis
摘要
介绍了一种对厚度很小的平行玻璃平板厚度的高精度测量方法.通过激光束垂直照射被测物,用光谱仪接受并分析反射光各波长的能量.以此数据分析出介质对不同波长光线的反射率,找出反射率极大的波长.使用这些具有反射极大的波长进行计算,就得到介质的厚度值.该测量方案结构简单,测量精度较高.
Abstract
陈志超. 基于光谱能量分析的介质厚度测量方法[J]. 光学仪器, 2008, 30(1): 20. 陈志超. The measurement method for medium thickness based on spectral energy analysis[J]. Optical Instruments, 2008, 30(1): 20.
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