光学仪器, 2005, 27 (5): 3, 网络出版: 2008-08-12
基于AFM的光盘形貌研究
The study of optical disk pattern based on AFM
摘要
介绍了原子力显微镜(AFM)的原理及特点.用AFM对光盘上记录信息用的凹坑结构进行了三维检测,并对测量结果进行了分析.结论表明AFM在光盘质量检测过程中具有独特的优势.
Abstract
孙大许, 刘万里, 马强, 闫勇刚. 基于AFM的光盘形貌研究[J]. 光学仪器, 2005, 27(5): 3. 孙大许, 刘万里, 马强, 闫勇刚. The study of optical disk pattern based on AFM[J]. Optical Instruments, 2005, 27(5): 3.