光学仪器, 2006, 28 (4): 5, 网络出版: 2008-08-12
亚四分之一波长宽波段多层膜的设计
Design of sub-quarter-wavelength broadband multilayer reflectivity mirror
摘要
简要阐述了强吸收波段亚四分之一波长多层膜的设计方法.这种膜系是由强吸收材料叠加而成,每层膜光学厚度小于四分之一个波长.与常规周期多层膜相比,这种膜系更适用于提高强吸收波段的反射率.利用该方法设计了50nm~110nm波段宽带高反膜的初始膜系,通过Levenberg-Marquart方法对初始膜系进行优化,从而得到宽波段的平坦反射率,其平均反射率达到45%.
Abstract
李存霞, 朱京涛, 王风丽, 张众, 王洪昌, 王占山, 陈玲燕. 亚四分之一波长宽波段多层膜的设计[J]. 光学仪器, 2006, 28(4): 5. 李存霞, 朱京涛, 王风丽, 张众, 王洪昌, 王占山, 陈玲燕. Design of sub-quarter-wavelength broadband multilayer reflectivity mirror[J]. Optical Instruments, 2006, 28(4): 5.