光学仪器, 2006, 28 (4): 74, 网络出版: 2008-08-12
在固定比较片上用上反射监控方法生产窄带干涉滤光片
Coating a narrow band-pass optical filter by using back reflective method monitored on a static and change-able test glass
摘要
采用上反射法在可更换的固定比较片上对光学镀膜过程进行监控,有利于优化离子束辅助镀膜工艺.介绍了实现这种监控方法的独特系统结构,即采用直角棱镜和自准直光路分离监控光束;对工艺过程和主要结果进行了描述.该监控系统的控制精度优于千分之五,耦合层控制精度优于百分之五,得到了和透射法监控相同的结果.
Abstract
闫宏, 马志亮. 在固定比较片上用上反射监控方法生产窄带干涉滤光片[J]. 光学仪器, 2006, 28(4): 74. 闫宏, 马志亮. Coating a narrow band-pass optical filter by using back reflective method monitored on a static and change-able test glass[J]. Optical Instruments, 2006, 28(4): 74.
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