光学仪器, 2006, 28 (4): 83, 网络出版: 2008-08-12
基于自适应卡尔曼滤波的光学监控信号处理
Adaptive Kalman filter for monitor signal processing of optic thin film
摘要
针对光学监控系统(OMS)实际工作环境的复杂性,导致监控信号中存在不稳定量测噪声,采用基于遗忘因子的自适应卡尔曼滤波(AKF)对光学膜厚监控信号进行去噪处理.建立了针对非线性OMS的AKF模型,仿真分析中针对存在突变信噪比(SNR)的输入信号设置相应AKF初始参数使滤波性能达到最优.结果表明自AKF输出监控信号精度明显优于常规卡尔曼滤波;同时利用AKF输出监控信号判读反射率极值点对应膜厚,最终理论膜厚监控误差<2nm.
Abstract
赵汝进, 马孜, 姚远程, 何长涛. 基于自适应卡尔曼滤波的光学监控信号处理[J]. 光学仪器, 2006, 28(4): 83. 赵汝进, 马孜, 姚远程, 何长涛. Adaptive Kalman filter for monitor signal processing of optic thin film[J]. Optical Instruments, 2006, 28(4): 83.