光学仪器, 2006, 28 (4): 146, 网络出版: 2008-08-12
类镍钽软X射线激光用多层膜反射镜的研制
Fabrication of multilayer reflective mirrors for Ni-like Ta soft X-ray laser
摘要
设计并制备了工作波长为4.48 nm类镍钽软X射线激光用多层膜反射镜.选择Cr/C、Cr/Sc为多层膜材料对,模拟了多层膜非理想界面对多层膜反射率的影响.采用直流磁控溅射技术在超光滑硅基片上制备了Cr/C、Cr/Sc多层膜.利用X射线衍射仪测量了多层膜结构,在德国Bessy Ⅱ同步辐射上测量了多层膜的反射率,Cr/C,Cr/Sc多层膜峰值反射率分别为7.50%,6.12%.
Abstract
朱京涛, 王蓓, 徐垚, 张众, 王风丽, 王洪昌, 王占山, 陈玲燕. 类镍钽软X射线激光用多层膜反射镜的研制[J]. 光学仪器, 2006, 28(4): 146. 朱京涛, 王蓓, 徐垚, 张众, 王风丽, 王洪昌, 王占山, 陈玲燕. Fabrication of multilayer reflective mirrors for Ni-like Ta soft X-ray laser[J]. Optical Instruments, 2006, 28(4): 146.
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