光学仪器, 2006, 28 (3): 56, 网络出版: 2008-08-12
CMOS光栅图像纳米细分技术研究
Research on the technique of nanometer subdivision based on the CMOS grating image
摘要
光栅技术已在长度测量、角度测量、位置测量、自动检测、自动控制等诸多领域广泛应用.采用长光栅作为检测元件,但对光栅的细分不用常用的电子学细分,而是采用CMOS显微成像系统读取长光栅,并随之对光栅图形进行细分.系统由光源、光阑和聚光镜、标尺光栅、显微物镜及CMOS电子目镜组成,光栅图像进入PC机,采用软件进行细分.试验获得的光栅图形清晰,从而为利用数字图像处理技术进行细分提供可靠依据,实验研究的细分分辨力为80nm.
Abstract
徐进, 倪旭翔, 曹向群, 陆祖康. CMOS光栅图像纳米细分技术研究[J]. 光学仪器, 2006, 28(3): 56. 徐进, 倪旭翔, 曹向群, 陆祖康. Research on the technique of nanometer subdivision based on the CMOS grating image[J]. Optical Instruments, 2006, 28(3): 56.