强激光与粒子束, 2007, 19 (11): 1837, 网络出版: 2008-08-17   

聚苯乙烯薄膜对自支撑锆薄膜的性能改善

Improving properties of free-standing Zr filter with polystyrene film
作者单位
同济大学,精密光学工程技术研究所,上海,200092
摘要
利用直流磁控溅射方法和提拉法制备了自支撑Zr/ C8H8复合滤光膜和C8H8滤光膜.用同步辐射光源测量了滤光膜对软X射线的透射率,用俄歇电子能谱分析了膜中的元素含量.结果表明,虽然C8H8薄膜的加入在一定程度上降低了Zr滤光膜在软X射线波段的透射率,但较好地阻止了存储和使用过程中氧、氮等杂质对Zr金属膜的入侵,有效地改善了滤光膜的环境稳定性;同时很好地改善了Zr滤光膜的力学性能和表面面形,使制备的成品率提高了20%.
Abstract
作者简介:通讯作者:吴永刚,ygwu@mail.tongji.edu.cn.

曹鸿, 吴永刚, 郑秀萍, 张莉, 付联效, 焦宏飞, 彭东功, 王振华. 聚苯乙烯薄膜对自支撑锆薄膜的性能改善[J]. 强激光与粒子束, 2007, 19(11): 1837. 曹鸿, 吴永刚, 郑秀萍, 张莉, 付联效, 焦宏飞, 彭东功, 王振华. Improving properties of free-standing Zr filter with polystyrene film[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2007, 19(11): 1837.

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