强激光与粒子束, 2007, 19 (11): 1849, 网络出版: 2008-08-17
物理法和化学法制备的单层ZrO2膜的激光损伤行为差异
Comparison of laser-induced damage of monolayer ZrO2 films preparated by PVD and sol-gel methods
摘要
分别采用电子束热蒸发技术和溶胶-凝胶技术在K9基片上镀制了光学厚度相近的ZrO2单层薄膜,测试了两类薄膜的激光损伤阈值.分别采用透射式光热透镜技术、椭偏仪、原子力显微镜和光学显微镜研究了两类薄膜的热吸收、孔隙率、微观表面形貌、激光辐照前薄膜的杂质和缺陷状况以及激光辐照后薄膜的损伤形貌.实验结果表明:两类薄膜的不同损伤形貌与薄膜的热吸收与微观结构有关, 物理法制备的ZrO2膜结构致密紧凑,膜层的杂质和缺陷多;化学法制备的ZrO2膜结构疏松多孔,膜层纯净杂质少,激光损伤阈值达26.9 J/cm2;因物理法制备的ZrO2膜拥有更大的热吸收(115.10×10-6)和更小的孔隙率(0.20),其激光损伤阈值较小(18.8 J/cm2),损伤主要为溅射和应力破坏,而化学法制备的ZrO2膜的损伤主要为剥层.理论上对实验结果进行了解释.
Abstract
郭袁俊, 祖小涛, 蒋晓东, 袁晓东, 徐世珍, 吕海兵, 王毕艺, 田东斌. 物理法和化学法制备的单层ZrO2膜的激光损伤行为差异[J]. 强激光与粒子束, 2007, 19(11): 1849. 郭袁俊, 祖小涛, 蒋晓东, 袁晓东, 徐世珍, 吕海兵, 王毕艺, 田东斌. Comparison of laser-induced damage of monolayer ZrO2 films preparated by PVD and sol-gel methods[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2007, 19(11): 1849.
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