强激光与粒子束, 2007, 19 (11): 1927, 网络出版: 2008-08-17
10 kV等离子体表面改性高压脉冲电源
10 kV high voltage pulse power supply for plasma surface modification
摘要
研制的10 kV高压脉冲电源采用脉冲单元叠加技术,将12组相互独立的各脉冲单元模块串联起来,采用同步驱动技术,实现了10 kV的高压脉冲输出.可通过增减脉冲单元的数量,满足不同输出电压的需要,实现了模块化设计.该电源的性能指标为:脉冲电压幅值0.1~10.0 kV,脉冲频率0.2~2.0 kHz,脉冲占空比5%~30% ,脉冲电流幅值20 A,脉冲功率200 kW.试验结果表明:在等离子体负载条件下电源运行稳定、可靠.
Abstract
作者简介:联系作者:田修波,xiubotian@163.com.
巩春志, 田修波, 曹珍恩, 朱宗涛, 杨士勤. 10 kV等离子体表面改性高压脉冲电源[J]. 强激光与粒子束, 2007, 19(11): 1927. 巩春志, 田修波, 曹珍恩, 朱宗涛, 杨士勤. 10 kV high voltage pulse power supply for plasma surface modification[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2007, 19(11): 1927.