强激光与粒子束, 2008, 20 (2): 224, 网络出版: 2008-08-17
相移干涉法测量ICF微球内表面粗糙度
Interior surface roughness of ICF micro-shells with phase shift interference technique
摘要
通过分析光线通过微球壳层后各界面的相位分布,讨论了相移干涉法测量微球内表面粗糙度的基本原理,研究了微球上部壳层对内表面粗糙度测量的影响,得到了聚苯乙烯,聚α甲基苯乙烯微球的内表面形貌特征图像,测量数据与原子力显微镜测量数据在同一量级.以微球壳层对超光滑碳化硅及单晶硅片表面形貌的调制作用为研究对象,讨论了微球的外表面粗糙度以及微球壁厚对内表面粗糙度测量结果的影响,确定了相移干涉法测量微球内表面粗糙度的不确定度,实验结果表明:对于表面粗糙度小于30 nm、厚度小于9 μm的微球,测量不确定度小于0.4 nm.
Abstract
马小军, 高党忠, 叶成刚, 贾鹏, 唐科慧, 初巧妹. 相移干涉法测量ICF微球内表面粗糙度[J]. 强激光与粒子束, 2008, 20(2): 224. 马小军, 高党忠, 叶成刚, 贾鹏, 唐科慧, 初巧妹. Interior surface roughness of ICF micro-shells with phase shift interference technique[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2008, 20(2): 224.
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