强激光与粒子束, 2008, 20 (4): 621, 网络出版: 2008-08-17
Fe掺杂氢化非晶碳薄膜制备及其热稳定性能
Preparation and thermal stability of Fe-doped hydrogenated amorphous carbon films
摘要
以H2、反式-2-丁烯(T2B)和二茂铁混合气体为工作气体,用金属有机等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)制备了Fe掺杂氢化非晶碳(a-C:H:Fe)薄膜.使用X射线光电子能谱(XPS)对a-C:H:Fe薄膜成分进行了分析.使用台阶仪、场发射扫描电镜(FESEM)、热重分析和紫外可见分光光度计(UV-VIS),对比分析了a-C:H薄膜和a-C:H:Fe薄膜的沉积速率、表面形貌、热稳定性和光学带隙变化.研究表明:相同制备条件下,相比a-C:H薄膜,a-C:H:Fe薄膜的沉积速率高,表面颗粒小,容易碳化,光学带隙变窄.
Abstract
作者简介：联系作者:吴卫东,男,研究员,主要从事薄膜物理研究;wuweidongdingliu@yahoo.cn.
张洪亮, 吴卫东, 何智兵, 刘兴华, 李俊, 曹林洪, 巨新, 唐永建, 谢二庆. Fe掺杂氢化非晶碳薄膜制备及其热稳定性能[J]. 强激光与粒子束, 2008, 20(4): 621. 张洪亮, 吴卫东, 何智兵, 刘兴华, 李俊, 曹林洪, 巨新, 唐永建, 谢二庆. Preparation and thermal stability of Fe-doped hydrogenated amorphous carbon films[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2008, 20(4): 621.
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