强激光与粒子束, 2008, 20 (4): 683, 网络出版: 2008-08-17   

电子回旋共振微波等离子体刻蚀α:CH薄膜的工艺

Etching α:CH films by electron cyclotron resonance microwave plasma
作者单位
1 中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900
2 四川大学,原子与分子研究所,成都,610065
3 四川大学,物理科学与工程学院,成都,610065
摘要
为了刻蚀出图形完整、侧壁陡直、失真度小的α:CH薄膜微器件,研究了有铝和无铝掩膜、气体流量比、工作气压对刻蚀速率的影响,并对纯氧等离子体刻蚀稳定性进行了研究.研究结果表明:在相同条件下,刻蚀速率随刻蚀时间变化不大;α:CH薄膜上有铝和无铝掩膜时,刻蚀速率相同;流量一定时,刻蚀速率随氩气和氧气体积比的增大而降低,当用纯氩气时,几乎没刻蚀作用;刻蚀速率随工作气压的增大而降低.实验中,得到最佳刻蚀条件是:纯氧气,流量4 mL·s-1,工作气压9.9×10-2 Pa,微波源电流80 mA,偏压-90 V.
Abstract
作者简介:联系作者:吴卫东,研究员,主要从事薄膜物理研究;wuweidongding@163.com.

陆晓曼, 张继成, 吴卫东, 朱永红, 郭强, 唐永建, 孙卫国. 电子回旋共振微波等离子体刻蚀α:CH薄膜的工艺[J]. 强激光与粒子束, 2008, 20(4): 683. 陆晓曼, 张继成, 吴卫东, 朱永红, 郭强, 唐永建, 孙卫国. Etching α:CH films by electron cyclotron resonance microwave plasma[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2008, 20(4): 683.

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