红外与激光工程, 2007, 36 (6): 920, 网络出版: 2008-08-17  

非制冷微测辐射热计的热学设计与分析

Thermal design and analyse for an uncooled microbolometer
作者单位
1 中国科学院微系统与信息技术研究所,传感技术国家重点实验室,上海,200050
2 中国科学院研究生院,北京,100039
摘要
电压灵敏度和热时间常数为表征微测辐射热计热性能的两个重要参数,热绝缘结构尺寸是决定性能参数的首要因素.首先采用解析法计算,并分析了这两个性能参数随结构尺寸改变的规律,确定一组能兼顾电压灵敏度及热时间常数的结构尺寸优化值,再利用有限元分析法对此优化结果加以模拟和验证,为下一步微测辐射热计的研制提供了可靠的理论依据.
Abstract
作者简介:李铁(1970-),男,研究员,博士、从事红外传感器、气体传感器方面的研究工作.Email:tli@mail.sim.ac.cn

马铁英, 李铁, 王跃林. 非制冷微测辐射热计的热学设计与分析[J]. 红外与激光工程, 2007, 36(6): 920. 马铁英, 李铁, 王跃林. Thermal design and analyse for an uncooled microbolometer[J]. Infrared and Laser Engineering, 2007, 36(6): 920.

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