红外与毫米波学报, 2007, 26 (3): 170, 网络出版: 2008-08-17
ITO衬底上LiTaO3薄膜的制备与介电特性
PREPARATION AND DIELECTRIC PROPERTIES OF LiTaO3 THIN FILM ON THE ITO SUBSTRATE
摘要
用溶胶凝胶法在ITO衬底上制备了钽酸锂(LiTaO3)薄膜,利用XRD、SEM和AFM对薄膜的晶向、表面形态等作了表征;研究了不同溶剂对LiTaO3溶胶稳定性的影响和不同退火条件对LiTaO3薄膜结晶的影响;利用Al/LiTaO3/ITO结构,测试了薄膜的介电系数和介电损耗.结果表明:每层薄膜都晶化退火比交替使用焦化、结晶退火能生长出质量更好的LiTaO3薄膜;频率1KHz时,介电损耗约0.4,相对介电系数约53.并讨论了介电损耗增大的原因.
Abstract
张德银, 黄大贵, 李金华, 李坤, 但迪迪, 董政. ITO衬底上LiTaO3薄膜的制备与介电特性[J]. 红外与毫米波学报, 2007, 26(3): 170. 张德银, 黄大贵, 李金华, 李坤, 但迪迪, 董政. PREPARATION AND DIELECTRIC PROPERTIES OF LiTaO3 THIN FILM ON THE ITO SUBSTRATE[J]. Journal of Infrared and Millimeter Waves, 2007, 26(3): 170.
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