红外与毫米波学报, 2008, 27 (1): 7, 网络出版: 2008-08-17
256元InGaAs线列红外焦平面及扫描成像
256 ELEMENT InGaAs LINEAR IR FOCAL PLANE ARRAY AND SCANNING IMAGE
摘要
报道了用分子束外延(MBE)方法生长掺杂InGaAs的PIN InP/InGaAs/InP外延材料,通过台面制作、硫化处理、ZnS/聚酰亚胺双层钝化、电极生长等工艺,制备了256元正照射台面InGaAs线列探测器,278K时平均峰值探测率为1.33×1012 cmHz1/2W-1.测试了不同钝化方式探测器典型Ⅰ-Ⅴ曲线和探测率,硫化可以减小探测器暗电流,ZnS/聚酰亚胺双层钝化效果最好.并对ZnS/聚酰亚胺双层钝化InGaAs探测器进行了电子辐照研究.256元InGaAs探测器阵列与两个CTIA结构128读出电路互连并封装,在室温时,焦平面响应率不均匀性为19.3%.成功实现了室温扫描成像,图像比较清晰.
Abstract
吕衍秋, 韩冰, 白云, 徐萌, 唐恒敬, 孔令才, 李雪, 张永刚, 龚海梅. 256元InGaAs线列红外焦平面及扫描成像[J]. 红外与毫米波学报, 2008, 27(1): 7. 吕衍秋, 韩冰, 白云, 徐萌, 唐恒敬, 孔令才, 李雪, 张永刚, 龚海梅. 256 ELEMENT InGaAs LINEAR IR FOCAL PLANE ARRAY AND SCANNING IMAGE[J]. Journal of Infrared and Millimeter Waves, 2008, 27(1): 7.
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