中国激光, 2009, 36 (2): 472, 网络出版: 2009-02-23   

酸催化制备溶胶-凝胶ZrO2薄膜及性能

Preparation and Characterization of ZrO2 Thin Film by Sol-Gel Method
作者单位
中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理联合实验室, 上海 201800
摘要
以Zr(OC3H7)4为前驱体,乙酰丙酮为络合剂,在盐酸的酸性条件下,于乙醇溶剂中水解制备ZrO2溶胶。采用粘度、红外(IR)光谱、折射率、热分析(DSC)、原子力显微镜(AFM)等测试手段对溶胶和薄膜性能进行表征。结果表明,制备的ZrO2溶胶具有比较好的粘度稳定性,加入聚乙烯吡喏烷酮(PVP)对溶胶稳定性影响不大; 经500 ℃热处理后,膜层折射率可达1.91;薄膜表面均匀平整; 加入PVP能提高膜层的激光损伤阈值(LIDT),ZrO2膜的激光损伤阈值为19.6 J/cm2(1064 nm,1 ns),ZrO2-PVP膜的激光损伤阈值为23.3 J/cm2(1064 nm,1 ns)。
Abstract
ZrO2 sol was prepared by sol-gel process from a solution containing zirconium n-propoxide as precursor, hydrochloric acid, PVP and acetylacetone as complexing agent in ethanol. The characterization of ZrO2 sol and films was analyzed by viscosity, infrared (IR) spectroscopy, refractive index, differential scanning calorimetry (DSC) and atomic force microscopy (AFM). The results show that the ZrO2 sol has a good viscosity stability. The influence of PVP on sol-gel stability is little. The refractive index of coatings treated at 500 ℃ is 1.91. The morphology of coatings surface is smooth. The laser induced damage threshold (LIDT) of coating is improved by adding PVP from 19.6 J/cm2 (1064 nm, 1 ns) to 23.3 J/cm2 (1064 nm, 1 ns).

李海元, 唐永兴, 胡丽丽. 酸催化制备溶胶-凝胶ZrO2薄膜及性能[J]. 中国激光, 2009, 36(2): 472. Li Haiyuan, Tang Yongxing, Hu Lili. Preparation and Characterization of ZrO2 Thin Film by Sol-Gel Method[J]. Chinese Journal of Lasers, 2009, 36(2): 472.

本文已被 2 篇论文引用
被引统计数据来源于中国光学期刊网
引用该论文: TXT   |   EndNote

相关论文

加载中...

关于本站 Cookie 的使用提示

中国光学期刊网使用基于 cookie 的技术来更好地为您提供各项服务,点击此处了解我们的隐私策略。 如您需继续使用本网站,请您授权我们使用本地 cookie 来保存部分信息。
全站搜索
您最值得信赖的光电行业旗舰网络服务平台!