光学 精密工程, 2008, 16 (9): 1727, 网络出版: 2010-02-28  

尺蠖型压电驱动器的闭环控制

Close-loop control of inchworm-type piezoelectric actuator
作者单位
吉林大学 机械科学与工程学院,吉林 长春 130025
摘要
针对尺蠖型压电驱动器的输出特性,提出了利用驱动电压与输出位移分段线性拟合曲线,逐步"搜索"驱动电压值,从而逼近目标位置的闭环控制方法。分析了控制方法的可行性,针对该方法,构建了闭环控制实验系统,对该方法进行了实验验证。实验结果表明,采用该方法可以实现对尺蠖型压电驱动器的闭环精确控制,系统闭环定位误差低于0.18μrad,定位精度比开环工作提高了14.4%。该方法具有控制精度较高、响应迅速、易于实现等优点。
Abstract
According to the output performance of inchworm-type piezoelectric actuator,a novel close-loop control method based on the subsection experiential equation between actuating voltage and corresponding stepping motion displacement was proposed.Via the method,the control system could search for the optimal actuating voltage step by step so as to approach to the target position.A experiment on the closed-loop system of the inchworm-type piezoelectric rotary actuator was carried on.The experimental results show that the novel method can control the actuator for precision positioning in closed-loop mode,and the positioning error of the actuator system in close-loop mode is 0.18 μrad,which is improved by 14.4% as compared to that of the open-loop working mode.The control method has the advantages of high accuracy,quick response and so on.

赵宏伟, 杨志刚, 范尊强, 张志宇, 吴博达, 程光明. 尺蠖型压电驱动器的闭环控制[J]. 光学 精密工程, 2008, 16(9): 1727. ZHAO Hong-wei, YANG Zhi-gang, FAN Zun-qiang, ZHANG Zhi-yu, WU Bo-da, CHENG Guang-ming. Close-loop control of inchworm-type piezoelectric actuator[J]. Optics and Precision Engineering, 2008, 16(9): 1727.

关于本站 Cookie 的使用提示

中国光学期刊网使用基于 cookie 的技术来更好地为您提供各项服务,点击此处了解我们的隐私策略。 如您需继续使用本网站,请您授权我们使用本地 cookie 来保存部分信息。
全站搜索
您最值得信赖的光电行业旗舰网络服务平台!