光子学报, 2009, 38 (3): 547, 网络出版: 2010-07-16   

飞秒激光和酸刻蚀方法制作凹面微透镜阵列

Concave Microlens Arrays Produced by Femtosecond Laser With HF Acid Etching
作者单位
中国科学院西安光学精密机械研究机所 瞬态光学与光子技术国家重点实验室,西安 710119
摘要
基于飞秒激光光刻技术和氢氟酸对光学玻璃的刻蚀,在K9光学玻璃表面制作了凹面微透镜阵列,并且可以以此为模板实现凸微透镜阵列的大量复制.用相位对比显微镜和扫描电子显微镜分析了微透镜阵列的表面轮廓,测试了微透镜阵列的光学衍射特征.该方法简单、透镜参量可控,制作的微透镜阵列能够用于分光、光束匀化、并行光刻等强激光领域.
Abstract
The concave microlens arrays were fabricated on K9 optical glasses using the technology of femtosecond laser and hydrofluoric acid etching on the surface of optical glass.This concave MLA as mold can achieve lots of convex MLAs by replication.The surface micromorphology and optical diffraction characteristics of the concave microlens array were analyzed respectively by the phase contrast electronic microscope and the scanning electron microscope.The process was parameter-controllable and implemented simply.Those concave microlens arrays can be applied to the field of light splitting,beam smoothing and parallel photolithography etc.

李明, 程光华, 赵卫, 王屹山, 贺俊芳, 陈国夫. 飞秒激光和酸刻蚀方法制作凹面微透镜阵列[J]. 光子学报, 2009, 38(3): 547. LI Ming, CHENG Guang-hua, WANG Yi-shan, HE Jun-fang, CHEN Guo-fu, ZHAO Wei. Concave Microlens Arrays Produced by Femtosecond Laser With HF Acid Etching[J]. ACTA PHOTONICA SINICA, 2009, 38(3): 547.

本文已被 5 篇论文引用
被引统计数据来源于中国光学期刊网
引用该论文: TXT   |   EndNote

相关论文

加载中...

关于本站 Cookie 的使用提示

中国光学期刊网使用基于 cookie 的技术来更好地为您提供各项服务,点击此处了解我们的隐私策略。 如您需继续使用本网站,请您授权我们使用本地 cookie 来保存部分信息。
全站搜索
您最值得信赖的光电行业旗舰网络服务平台!