光学技术, 2006, 32 (1): 0115, 网络出版: 2010-06-03   

白光扫描干涉测量算法综述

The summary of algorithms for white-light scanning interferometry
作者单位
清华大学 精密测试技术及仪器国家重点实验室,北京 100084
摘要
白光扫描干涉测量是光学测量中一种非常重要的方法。在干涉仪的结构、光源的光谱宽度以及扫描步长一定的情况下,选择合适的算法对干涉信号进行处理能够达到更高的测量精度。对重心法、移相法、包络曲线拟合法以及空间频域算法分别加以介绍和比较,为白光干涉信号的算法选取提供了一份详尽的参考。
Abstract
White light interference is an extremely powerful method of optical measurements. When the structure of the interferometer,the spectrum width of the light source,and the scanning step is certain,the right algorithm can achieve higher precision. The algorithms such as centroid algorithm,phase shift algorithm,envelope fitting algorithm and spatial frequency domain algorithm were discussed and compared. A complete reference was supplied for choosing of white light interferometry algorithm.

杨天博, 郭宏, 李达成. 白光扫描干涉测量算法综述[J]. 光学技术, 2006, 32(1): 0115. YANG Tian-bo, GUO Hong, LI Da-cheng. The summary of algorithms for white-light scanning interferometry[J]. Optical Technique, 2006, 32(1): 0115.

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