光学学报, 1989, 9 (10): 871, 网络出版: 2020-08-24  

高重复率XeCl准分子激光器的放电特性

Discharge characteristics of XeCl excimer laser with high repetition rate
作者单位
中国科学院安徽光学精密机械研究所
摘要
本文报道紫外预电离放电泵浦的高重复率XeCl准分子激光器的放电特性,分析了放电参数的改变对放电过程的影响.最佳转换效率达2.2%.
Abstract
The discharge characteristics of XeCl excimer laser using UV preionization discharge pump with high repetition rate are described. Influnee of discharge parameters on discharge process are analyzed. The transfer efficiency maxmum hag reached 2.2%.

王华胜, 倪晋智, 汪建业, 朱广寅, 余吟山. 高重复率XeCl准分子激光器的放电特性[J]. 光学学报, 1989, 9(10): 871. Wang Husheng, Ni Jinzhi, Wang Jianye, Li Guangyin, Yu Yinshan. Discharge characteristics of XeCl excimer laser with high repetition rate[J]. Acta Optica Sinica, 1989, 9(10): 871.

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