首页 > 论文 > 强激光与粒子束 > 23卷 > 12期(pp:3193-3196)

稀疏子孔径采样检测大口径光学器件

Large-aperture mirror test using sparse sub-aperture samp

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摘要

针对大口径光学器件在抛光加工过程中子孔径拼接检测效率低的问题,提出并分析了用稀疏子孔径采样法对大口径光学器件抛光加工过程进行过程检测。通过软件仿真分析稀疏子孔径不同的采样分布,并拟合出不同采样分布的全口径面形,与实际测得全口径面形进行比较。结果表明:当稀疏子孔径采样分布合理时,稀疏子孔径采样检测法检测出的全口径面形与实际测量的全口径面形相当,所以稀疏子孔径采样检测法可以在抛光过程中进行检测,从而提高检测效率

Abstract

Due to the low efficiency of testing large-aperture mirrors in the polishing process by sub-aperture stitching technology, the sparse sub-aperture sampling technology was put forward and analyzed. Full aperture maps gained by different sparse sub-aperture sampling and the actual full aperture map were compared. The sparse sub-aperture sampling with a reasonable distribution may achieve the same accuracy as the full aperture test does. Thus the sparse sub-aperture sampling technology could be used in the polishing process to improve test efficiency.

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补充资料

中图分类号:TQ171.65

DOI:10.3788/hplpb20112312.3193

所属栏目:2011全国先进光学制造与战略新兴产业发展论坛暨学术会议论文

基金项目:国家自然科学基金项目(60908042)

收稿日期:2011-09-01

修改稿日期:2011-10-13

网络出版日期:--

作者单位    点击查看

闫锋涛:中国科学院 光电技术研究所, 成都 610209中国科学院 研究生院, 北京 100039
范斌:中国科学院 光电技术研究所, 成都 610209
侯溪:中国科学院 光电技术研究所, 成都 610209
伍凡:中国科学院 光电技术研究所, 成都 610209

联系人作者:闫锋涛(yanfengtao427@163.com)

备注:闫锋涛(1986—),男,硕士,主要从事光学检测工作

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引用该论文

ling Yan Fengtao,Fan Bin,Hou Xi,Wu Fan. Large-aperture mirror test using sparse sub-aperture samp[J]. High Power Laser and Particle Beams, 2011, 23(12): 3193-3196

闫锋涛,范斌,侯溪,伍凡. 稀疏子孔径采样检测大口径光学器件[J]. 强激光与粒子束, 2011, 23(12): 3193-3196

被引情况

【1】罗倩,吴时彬,汪利华,杨伟,范斌. 稀疏子孔径区域内正交多项式重构波前. 光子学报, 2018, 47(6): 612005--1

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