光谱学与光谱分析, 2012, 32 (1): 33, 网络出版: 2012-02-20
使用斯塔克展宽计算大气压射频介质阻挡放电氮气等离子体的电子密度
Determination of Electron Density in Atmospheric Pressure Radio Frequency Dielectric Barrier Discharges by Stark Broadening
电子密度 Stark展宽 大气压 射频放电 Electron density Stark broadening Atmospheric pressure Radio frequency discharge
摘要
大气压射频等离子体是近几年发展起来的一种新型非平衡等离子体。 以氮气掺杂少量氩气为放电气体, 实现了大气压射频介质阻挡放电。 利用发射光谱对放电进行在线诊断研究, 并分析谱线线型, 从中分离出谱线的Stark线型, 从而计算出放电通道的电子密度。 研究了单个放电通道中电子密度的空间分布并测量了通道同一位置的电子密度随放电输入功率的变化。 结果显示, 在放电通道中部, 当放电输入功率由138 W增加至248 W, 电子密度由4.038×1021 m-3升高至4.75×1021 m-3。
Abstract
The use of high frequency power to generate plasma at atmospheric pressure is a relatively new development. An apparatus of atmospheric pressure radio frequency dielectric barrier discharge was constructed. Plasma emission based measurement of electron density in discharge columns from Stark broadening Ar is discribed. The spacial profile of electron density was studied. In the middle of the discharge column, as the input power increases from 138 to 248 W, the electron density rises from 4.038×1021 m-3 to 4.75×1021 m-3.
李森, 刘忠伟, 陈强, 刘福平, 王正铎, 杨丽珍. 使用斯塔克展宽计算大气压射频介质阻挡放电氮气等离子体的电子密度[J]. 光谱学与光谱分析, 2012, 32(1): 33. LI Sen, LIU Zhong-wei, CHEN Qiang, LIU Fu-ping, WANG Zheng-duo, YANG Li-zhen. Determination of Electron Density in Atmospheric Pressure Radio Frequency Dielectric Barrier Discharges by Stark Broadening[J]. Spectroscopy and Spectral Analysis, 2012, 32(1): 33.
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